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小型開啟式管式爐在真空壓力下,加在電感線圈的射頻電場(chǎng),使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電,在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子。這些電子在電場(chǎng)的作用下獲得充足的能量,其本身溫度很高,它與氣體分子相碰撞,使氣體分子活化。它們吸附在襯底上,并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成介質(zhì)膜,副產(chǎn)物從襯底上解吸,隨主氣流由真空泵抽走,稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉(PECVD)。
1400℃雙溫區(qū)精密真空管式爐采用智能化程序溫控系統(tǒng),可控硅控制,以優(yōu)質(zhì)硅碳棒為加熱元件,采用智能化控溫系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高;內(nèi)置兩個(gè)溫區(qū),可營(yíng)造不同的溫度梯度。
1400℃三溫區(qū)管式爐采用智能化程序溫控系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高;高真空級(jí)法蘭密封,以優(yōu)質(zhì)硅碳棒為加熱元件,采用智能化控溫系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高
CVD管式爐 高溫電爐集真空管式爐,多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,性能可靠??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù),具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn)。
1200℃小型真空管式爐-管式高溫爐采用智能化程序控溫系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高;雙層殼體結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)合理,外形美觀,結(jié)構(gòu)緊湊;雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫度。用于在真空或是氣氛保護(hù)環(huán)境下的材料燒結(jié)試驗(yàn)。
高溫管式電阻爐主要用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機(jī)械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業(yè)做粉末焙燒、陶瓷燒結(jié)、高溫實(shí)驗(yàn)、材料處理、質(zhì)高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等。
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