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簡要描述:CVD管式爐 高溫電爐集真空管式爐,多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,性能可靠。控制電路選用模糊PID程控技術,具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。
CVD管式爐 高溫電爐,集真空管式爐,多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,可根據(jù)用戶需要設計生產(chǎn)(有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)),可預抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術,具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。
CVD管式爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝,例如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結構的可控生長等等;也可適用于金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理。CVD管式爐 高溫電爐具有以下優(yōu)勢:
1、CVD管式爐采用高純石英管或剛玉管作為內爐膛。
2、CVD管式爐溫控系統(tǒng)采用進口多段智能程序溫度控制儀控制,溫度控制具有良好的穩(wěn)定性、重復性。
3、可拆卸式的三面密封方式,具有良好的潔凈度和真空度;
4、耐火,保溫材料全部采用*進的輕質纖維制品,整機質量輕、能耗低;
5、CVD管式爐加熱元件采用U型硅鋁(碳)棒或*電阻絲。
CVD管式爐功能以及特點說明:
1、CVD管式爐內置兩個溫區(qū),可以營造300℃內不同的溫度梯度;
2、雙溫區(qū)控制系統(tǒng)采用PID方式控制,控溫儀表中可以設置30段升降溫程序,每個溫區(qū)可以單獨控溫;
3、采用KF快速法蘭密封,只需要一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;
4、CVD管式爐爐蓋可打開,可以實時觀察燒結的物料狀況,并能迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實驗需要;
5、CVD管式爐爐膛采用進口氧化鋁多晶纖維材料,保溫性能好,耐用,拉伸強度高,無雜球,純度高,節(jié)能效果明顯優(yōu)于國內纖維材料;
6、加熱元件采用內嵌式高電阻優(yōu)質合金絲0Cr27Al7Mo2,經(jīng)久耐用,高溫度可達1200℃。
7、預留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;
8、CVD管式爐預留了485轉換接口,可通過我司軟件,與計算機互聯(lián),可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;可安裝無紙記錄裝置,實現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、輸出。
9、CVD管式爐上蓋開啟自動斷電,超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠。
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